安捷倫二手ICP-ms:分析特點

可快速同時檢測周期表上幾乎所有元素

低檢出限(低至ppq級)

分析效益/成本比

線性動態(tài)范圍寬—可直接檢測從ppq到數(shù)百ppm濃度

譜線簡單、干擾小，準(zhǔn)確度和精密度好

需要樣品量很低(ul至ml)，分析速度很快(1——3分鐘/樣品)

檢測模式靈活多樣

半導(dǎo)體工業(yè)常用材料中超痕量污染物分析：

固體：Si;GaAa單晶切片;石英、碳化硅等爐材料;高純金屬電極等

Agilent ICP-MS可直接分析有機樣品：

Agilent ICP-MS的高效能、高功率屏蔽矩冷等離子體技術(shù)已被用于測定一系列有機樣品的ppt級痕量污染元素。

對其中一些樣品，其他方法無法獲到滿意的結(jié)果，高功率屏蔽矩冷等離子體技術(shù)是種分析方法。

強堿性清洗劑——四甲基氫氧化氨(TMAH)等

高基體樣品——光刻膠、液晶、BPSG、PSG等揮發(fā)性*的清洗劑

安捷倫二手ICP-ms進樣系統(tǒng)

標(biāo)配的進樣系統(tǒng)一般是一個霧化器和霧室，蠕動泵作為進樣動力，這兩個廠家的進樣系統(tǒng)也都有自己的設(shè)計。

PE ELAN DRC-e標(biāo)配的進樣系統(tǒng)是強耐腐蝕的正交霧化器和Ryton霧室，優(yōu)點是耐高濃度的HF、堿、王水和有機溶劑，缺點是霧化效率低，靈敏度相對要低。

Agilent 7500標(biāo)配為Peltier冷卻的石英微同心霧化器和石英筒形Scott霧室，并且在進樣器上增加了HMI設(shè)計，這些進樣器的優(yōu)點是霧化效率高，冷卻霧化能降低多原子干擾離子的生成，減少取樣量的同時滿足普通進樣的耐高鹽，缺點是不耐氫fu酸。

進樣系統(tǒng)都可拆換，兩家公司也配備了多種類型的進樣裝置工客戶更換。

 離子源：

ICP的裝置主要是由中心噴射管，矩管和射頻發(fā)生器(RF線圈)組成。PE ELAN DRC-e和Agilent 7500的中心噴射管和矩管都可根據(jù)用戶的實際需要更換為耐HF酸的或不耐HF酸的。至于RF線圈，PE采用 40.68 MHz激發(fā)頻率，Agilent是固態(tài)數(shù)控27.12 MHz激發(fā)頻率。

這里要提一下，PE的炬管拆裝都比較麻煩，XY 軸還是旋鈕手動調(diào)節(jié)，而Agilent的設(shè)計是接頭插拔，炬管拆裝比較容易，炬管的位置都可以通過馬達自動定位。

接口：

樣品通過進樣系統(tǒng)送入等離子體，然后以霧化的電離狀態(tài)到了接口部分，也就是錐。這兩款都是雙錐設(shè)計(采樣錐和截取錐)，標(biāo)配的都是鎳錐。兩家公司也都能提供鉑錐，鉑錐比鎳錐更耐腐蝕，更經(jīng)用，本底更小，當(dāng)然更貴。兩家公司錐的不同是錐孔大小的設(shè)計。PE的采樣錐和截取錐的孔徑分別為1.1 mm和0.9 mm，而Agilent的則分別為1.0 mm和0.4 mm。我們可以看出兩家的采樣錐的孔徑是差不多的，截取錐則大不相同。當(dāng)然，錐大小各有利弊，但我傾向于錐孔小顯然容易鹽分沉積，沉積后對錐孔附近的進樣環(huán)境、二次電離等都有較大的影響。